Що таке рентгенівська відбивна здатність тонких плівок?

Відбивна здатність рентгенівського випромінювання (XRR) – це методика детального вивчення властивостей поверхні матеріалів. Зокрема, рентгенівські промені використовуються для зондування електронної густини перпендикулярно до поверхні та отримання інформації про шорсткість поверхні, товщину тонкої плівки та щільність.

Вимірювання відбивної здатності рентгенівського випромінювання Метод відбивної здатності рентгенівського випромінювання має такі характеристики: A) Його можна використовувати для дослідження монокристалічного, полікристалічного або аморфного матеріалу. B) Його можна використовувати для неруйнівної оцінки шорсткості поверхні та ширини межі розділу (що виникає внаслідок шорсткості та взаємодифузії).

від 5 до 350 ангстрем рентгенівське відбиття використовує повне зовнішнє відбиття від поверхонь і інтерфейсів. Це корисно для товщини шару від 5 до 350 Ангстрем. Він може надати точну товщину шару, щільність і шорсткість. Вимірювання відбивної здатності рентгенівського випромінювання можна виконувати за допомогою звичайного потужного дифрактометра [1].');})();(function(){window.jsl.dh('eprsZpeDF9KJkdUPs7CMAQ__43','

Особливості спектру відбиття тонкої плівки виразні коливання і екстремуми спектра можуть бути використані для розрахунку товщини тонкої плівки. , системи вимірюється. Потім проводиться аналіз моделі, у якому інформація використовується для визначення товщини шару плівки та показників заломлення.

Для дзеркального рентгенівського відбиття αI = αR ; кут падіння дорівнює куту виходу. Оскільки дійсна частина показника заломлення матеріалів менше одиниці (показник заломлення для вакууму), матеріал для рентгенівських променів є менш заломлюючим, ніж для вакууму.

Вимірюється відбивна здатність шляхом освітлення зразка світлом і вимірювання відбитого від зразка світла. Відбите світло складається з дзеркально відбитого світла та дифузно відбитого світла, які в сукупності називають повним відбитим світлом (дзеркально відбите світло плюс дифузно відбите світло).